AU6 SERIES
中空雙軸stage，線性馬達驅動，光學尺回授，無背隙，便於控制器做精度補償，高度低，重量輕，慣性小，高速運動中對機台反作用力小，有效降低機台震動。 中空設計便於下CCD或下光源安裝，適用於24/7的應用。
直度良好、直角度經過特別校正，足以應付半導體的應用。在速度200mm/sec以下連續操作溫昇極少，可滿足需要高精度的應用，極低摩擦軌道，並有珠串防止偏移設計，長時間頻繁運動也沒有珠串偏移卡死的顧慮。工作區中空涵蓋2”~12”範圍，若下CCD鏡筒ψ40mm 以下，鏡筒允許昇到中層上緣，以利對焦。 AU6 Series 可以和ACR Series直接組合成XYθ，以滿足需要角度微調的應用，請參考：ACR series。
直度良好、直角度經過特別校正，足以應付半導體的應用。在速度200mm/sec以下連續操作溫昇極少，可滿足需要高精度的應用，極低摩擦軌道，並有珠串防止偏移設計，長時間頻繁運動也沒有珠串偏移卡死的顧慮。工作區中空涵蓋2”~12”範圍，若下CCD鏡筒ψ40mm 以下，鏡筒允許昇到中層上緣，以利對焦。 AU6 Series 可以和ACR Series直接組合成XYθ，以滿足需要角度微調的應用，請參考：ACR series。
| AU6120PMⅡ5-OP166 | ||
|---|---|---|
| Dual Axis Open-frame Linear Motor Stage | ||
| Open-frame | mm | 130*130 |
| Travel | mm | 120*120 |
| Continuous speed(1) | mm/sec | 200 |
| Max. Speed (1) | mm/sec | 500 |
| Resolution | μm | 0.1 |
| Repeatibility | counts | ±3 |
| Max. acceleration(1) | m/s2 | 10 |
| straightness/flatness | μm | ±2 |
| Linear Motor Peak Force | N | 176 |
| Linear Motor Continuous Current | Amps | 2 |
| (1)Max. Speed may be limited by system data rate and system resolution. | ||
| AU6 | 120 | P | MⅡ5－ | ＯＰ１６６－ | |
|---|---|---|---|---|---|
| Travel | Motor | 光學尺型式 | 中間層開口長度 | Option | |
| 120 | P:標準 | 166 | AC:Air Cooling | ||
| 170 | P6:下軸加大 | 216 | AT:build in Air Tube | ||
| 220 | 266 | for Vacccum | |||
| 270 | 316 | ||||
| 320 | 366 | ||||
| 每50mm一個型號 |
| 馬達線色 |
|---|
| M1：黃／橙 |
| M2：藍／綠 |
| M3：棕／黑 |
| PE：隔離網 |
| 光學尺接頭 | |||
|---|---|---|---|
| 15 PIN D-Sub/Male | |||
| 1 | Right Limit＋ | 9 | Ground |
| 2 | Ground | 10 | Left Limit＋ |
| 3 | Right Limit－ | 11 | Left Limit－ |
| 4 | Index－ | 12 | Index＋ |
| 5 | B－ | 13 | B＋ |
| 6 | A－ | 14 | A＋ |
| 7 | 5V | 15 | Do not connect |
| 8 | 5V | ||
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