nm stage奈米平台
本公司提供奈米解析度平台。
這類平台必須控制、驅動由本公司搭配，採用光學尺做位置檢知，並作閉環控制，本公司目前提供的奈米平台行程在100mm以內。
奈米平台的精度問題須考慮的因素較多，溫度控制是必須的，溫度誤差允許量和所需的精度有關。
震動是另一個問題，建築物的低頻震動影響較低，但像風扇，pump，等工作的震動或機械衝擊就有很大影響，使用時須隔離。
另外電磁波相容性也較需注意，如此才能完整發揮奈米平台的特質。
奈米平台的精度問題須考慮的因素較多，溫度控制是必須的，溫度誤差允許量和所需的精度有關。
震動是另一個問題，建築物的低頻震動影響較低，但像風扇，pump，等工作的震動或機械衝擊就有很大影響，使用時須隔離。
另外電磁波相容性也較需注意，如此才能完整發揮奈米平台的特質。
| ANS144-100 | ||
|---|---|---|
| Nanometer Resolution Single Axis Stage | ||
| Open-frame | mm | |
| Travel | mm | 100 |
| Continuous speed(1) | mm/sec | 6 |
| Max. Speed (1) | mm/sec | 10 |
| Resolution | nm | 1 |
| in-potion stability | counts | ±2 |
| Max. acceleration(1) | mm/s2 | 60 |
| straightness/flatness | μm | ±1 |
| Linear Motor Peak Force | N | 18 |
| (1)Max. Speed may be limited by system data rate and system resolution. | ||
| 型式 | 寬度 | 行程 | 備註 |
|---|---|---|---|
| ANS | 144 | 50 | |
| 100 |
馬達線色/接頭9PIN D-Sub/F，光學尺接頭15P D-Sub/M
✽ 控制器、驅動器均由本公司配線，不提供接腳定義。
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